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SHINSUNG过滤单元EFU-320-BL(D)-ULPA

基础信息Product information

产品名称:SHINSUNG过滤单元EFU-320-BL(D)-ULPA

产品简介:

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产品特性Product characteristics

SHINSUNG过滤单元EFU系列介绍

设备风扇过滤单元(EFU

 

产品信息

在半导体和 FPD 生产设备的顶部或侧面

安装它是为了保持设备内部的压力并提供清洁的空气,以保持设备内部的清洁。

 

应用领域

ICR 洁净室、ME 设备、腔室


SHINSUNG过滤单元EFU列技术参数



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