产品名称:NAGANO变送器ZT15-Y01 (-15-3000PSI)
产品简介:
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NAGANO KEIKI压力变送器ZT15系列介绍
这些压力变送器专为半导体行业设计,将压力转换为电信号,并通过配备蒸发涂层型半导体应变片和内置电子电路的传感元件进行传输。提供两种类型的压力变送器:适用于高纯度气体的UC/EP级和BA/GP级,在不影响气密性的情况下降低了气体管道的成本。
・采用钴镍合金或SUS316L制成的高耐腐蚀压力传感器直接焊接到接头上,使其具有优异的耐腐蚀性、气密性、长期稳定性和可靠性。
・几乎没有可能导致气体污染的死角。
・提供表压、复合压和绝对压三种测量类型。
NAGANO KEIKI压力变送器ZT15-Y01 (-15-3000PSI)技术参数
流体: | 半导体工业工艺气体 |
压力范围: | -15~3000PSIG |
连接方式: | 1/4、3/8 UJR、VCR、CVC 等 |
压力传感器密封方式: | 焊接式 |
工作温度: | -20 至 70°C(无结冰或凝露) |
储存温度: | -30 至 80°C(无结冰或凝露) |
防护等级: | 室内使用 |
重量: | 约 180 克(不含电缆,具体重量取决于接头形状) |
Fluid | Process gasses for semiconductor industry |
Pressure range | -15~3000PSIG |
Connection | 1/4, 3/8 UJR, VCR, CVC, etc. |
Pressure sensor seal method | Welding type |
Operating temperature | -20 to 70°C (No freezing or condensation) |
Storage temperature | -30 to 80°C (No freezing or condensation) |
Enclosure | Indoor use |
Weight | Approx. 180 g (Excluding cable, varies depending on the fitting shape) |
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